반도체소재 - 불화수소(에칭가스), 포토레지스트

일본이 반도체·디스플레이 생산에 필요한 소재의 수출을 규제하며 문제가 되고 있다. 핵심 소재는 1) 고순도 에칭 가스, 2) 포토레지스트, 3) 플루오린 폴리이미드이다.

 

1) 에칭 가스는 불화수소이다.
2) 포토레지스트는 감광액으로 국내 생산업체에는 동진쎄미켐이 있다.
3) 플루오린 폴리이미드(FPI)는 TV와 스마트폰 디스플레이의 필수 소재로 OLED 디스플레이 패널 부품으로 사용된다. 국내 업체로는 SKC코오롱PI와 코오롱인더스트리, 경인양행 등이 있다.

 

 

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고순도 불화수소(에칭가스)는 무엇인가?

반도체 제조공정 가운데 에칭 공정과 불순물 제거 과정에서 사용하는 기체다. 2019년 7월 일본이 갑작스럽게 수출을 규제하기로 하면서 반도체 생산에 차질이 우려되고 있다.

 

불화수소, 화학식은 HF
hydrogen fluoride

 

일본의 스텔라, JSR 등 기업이 세계 수요의 90% 이상을 생산하고 있다. 일본에서는 순도 99.99% ~ 99.999% 불화수소를 생산하지만 국내 기업은 97% 안팎의 저순도 불화수소를 생산한다. 솔브레인, 이엔에프테크놀로지, 후성 등의 기업이다.

솔브레인(주)

중앙연구소 및 본사는 판교에 있으며, 공주와 파주에 공장을 두고, 용인연구소와 공주 생산기술연구소 등을 두고 있다.

파주공장

파주첨단지방산업단지에 있으며, 파주1공장과 2공장의 용지면적은 22,027㎡, 업종은 C20화학물질 및 화학제품 제조업(의약품 제외)이다.

• 1공장(20129, 26295) : 반도체 및 디스플레이 부품
• 2공장(20499, 20495) : 초순수

공주공장

공주검상농공단지에 위치하며, 생산품은 다음과 같다.

• 1공장(20499, 20495) : PMA
• 2공장(20499, 20495) : Glass 식각
• 3공장(20499, 20495) : 반도체용 세정제 및 에칭제
• 4공장(20499, 20495) : Ceria Slurry
• 6공장(20219) : 화공약품
• 7공장(20499, 20495) : 디스플레이평판

에칭제는 3공장에서 생산하고 있다.

(주)이엔에프테크놀로지

본사는 논현동 수산빌딩에 있으며, 천안제5일반산업단지와 아산 인주 외국인투자지역에 공장을 두고 있다.

• 천안공장(36,336.9㎡) : 업종코드 20499, 20495 / 생산품 반도체용 식각액
• 아산공장(27,320.7㎡) : 업종코드 20499, 생산품 반도체용 용제

 

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동진쎄미켐

• 공장은 화성 발안, 인천, 시화에 있다.
• 연구소는 판교에 있다.
• 사무소는 서울, 부산, 구미, 파주에 있다.

화성 공장

화성 양감면에 개별입지로 있다.

• 주소 : 경기도 화성시 양감면 작은돌래길 35
• 용지면적 : 56,442㎡
• 업종코드 : 27213, 20499, 20495
• 생산품
  반도체용 Photoresist, Coating LCD & PDP용 Photoresist
  Stripper, Thinner
  CMP Slurry
  Colored Resist , Column Spacer ,유기 절연막(LCD)
  Touch Panel용 소재
  Liquid Crystal

포토레지스트는 화성 공장에서 생산된다.

인천 공장

인천 남동 공단에 위치한다.

• 주소 : 인천광역시 서구 백범로 644
• 용지면적 : 13,932㎡
• 업종코드 : 20119, 20129
• 생산품
  Etchants(Al, ITO, Cr, Mo, Cu & Others)
  PDP용 상하 유전체
  Solar Cell Materials
  연료전지 (연구소)

시화 공장(발포제, TSP)

시화국가산업단지 내 위치한다.

• 주소 : 경기도 시흥시 소망공원로 16
• 용지면적 : 33,214㎡
• 업종코드 : 20129,20112,20121,20499,22291,22292,23112,23119,23121,23199,26295,26299
• 생산품
  발포제
  터치센서 및 모듈 (GFF, G1F 방식 등)

음성 공장

음성 공장은 임대하여 사용중인 것으로 나온다.