반도체소재 - 불화수소(에칭가스), 포토레지스트
일본이 반도체·디스플레이 생산에 필요한 소재의 수출을 규제하며 문제가 되고 있다. 핵심 소재는 1) 고순도 에칭 가스, 2) 포토레지스트, 3) 플루오린 폴리이미드이다. 1) 에칭 가스는 불화수소이다. 2) 포토레지스트는 감광액으로 국내 생산업체에는 동진쎄미켐이 있다. 3) 플루오린 폴리이미드(FPI)는 TV와 스마트폰 디스플레이의 필수 소재로 OLED 디스플레이 패널 부품으로 사용된다. 국내 업체로는 SKC코오롱PI와 코오롱인더스트리, 경인양행 등이 있다. 고순도 불화수소(에칭가스)는 무엇인가? 반도체 제조공정 가운데 에칭 공정과 불순물 제거 과정에서 사용하는 기체다. 2019년 7월 일본이 갑작스럽게 수출을 규제하기로 하면서 반도체 생산에 차질이 우려되고 있다. 불화수소, 화학식은 HF hydroge..
개발사업/산업단지
2019. 7. 22. 09:10
